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廠區(qū)1:煙台市福(fú)山區魏山(shān)路55号
廠區(qu)2:煙台市開(kāi)發區北京(jing)南路4号3号(hao)廠房
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蒸鍍的物(wù)理過程包(bāo)括:沉積材(cái)料蒸發或(huò)升華爲氣(qì)态粒子→氣(qì)态粒子快(kuài)速從蒸發(fā)源向基片(piàn)表面輸送(sòng)→氣态粒子(zi)附着👣在基(jī)片表面形(xíng)核、長大成(chéng)固體薄膜(mó)🈲→薄膜原子(zǐ)重構或産(chan)生化學鍵(jiàn)⁉️合。
将基片(pian)放入真空(kōng)室内,以電(dian)阻、電子束(shù)、激光等方(fāng)法加☀️熱膜(mó)料,使膜料(liao)蒸發或升(sheng)華,氣化爲(wei)具有一定(ding)能量(0.1~0.3eV)的粒(li)子(原子、分(fèn)子或原子(zǐ)團)。氣态粒(lì)子以基本(ben)無碰撞的(de)🌐直線運動(dòng)飛速傳送(song)至☁️基片,到(dao)達基片表(biǎo)面的粒子(zi)一部分被(bei)反💃🏻射,另一(yi)部分吸附(fù)在基片上(shàng)并發生表(biao)面擴散,沉(chen)積原子之(zhi)間産生二(èr)維碰撞,形(xing)成簇團,有(yǒu)的可能📞在(zai)表面短時(shí)停留後又(you)蒸發。


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一廠(chang)區:煙台市(shi)福山區魏(wei)山路55号
二(er)廠區:煙台(tai)市開發區(qu)北京南路(lù)4号3号廠房(fáng)
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